EGM
50kV 电子枪高压发生器
SPELLMAN 精确电子枪高压发生器具有超常的稳定性和低纹波的特点。EGM 50采用整体浮动灯丝电源和RS-232接口以减少终端产品开发时间并方便系统集成。安全、近于接地水平的本机或远程控制的电子束能量、灯丝电源和发射电流，提供最理想的工作效率。
| 电子束能量、灯丝电源和发射电流的本机或远程控制 | RS-232接口 | 可按顾客要求订做 |
| 整体浮动灯丝电源 | 安全、近于接地水平的本机或远程控制 | |
| 激活偏压系统 | 少于2.5PPM的稳定性 |
| 电子束平板印刷 | 半导体检测 | 扫描用电子显微镜 |
| 输入电压 | 90～260Vac |
| 输入电流 | 最大1A rms |
| 输入频率 | 47～63Hz |
| 输入保护 | 通过完整的IEC接口3.15A“T”保险丝实现 |
| 温度范围 |
操作温度：15℃～30℃(高稳定性型号要求稳定的环境） |
| 操作湿度 | 低于70%RH |
| 输入/输出连接器及电缆 | 输入线路是通过一个IEC接口连接器 EGM50采用联邦标准连接器作为输出连接器并附配套连接器和电缆 |
| 本机控制 |
通过上/下按扭控制开关对灯丝电源和发射电流进行本机控制 |
| 远程控制 | 通过RS-232C数字控制接口远程控制电子束能量、灯丝电源和激活偏压 |
| 监测 | 通过后面板的BNC连接器远程监控模拟输出 |
| 前面板显示监测 | 4位数字表面板显示:电子束能量或偏压电压(显示电子束能量和偏压电压之间的紧线钳),发射电流,灯丝电源 |
| 外形尺寸 | 13.3 x 48.3 x 48cm |
| 重量 | 30kg |
| 输出电压 | 远程控制固定的50kV±2%。可变输出电压和其他输出电压可供 |
| 输出电流 | 最大300μA |
| 极性 | 负极性 |
| 线路变动率 | 50kV,300μA输出时，线路改变10%情况下，＜2.5ppm |
| 负载变动率 |
＜10ppm |
| 稳定性 | 连续运行条件下＜2.5ppm/12小时。5，10，20，50ppm可供 |
| 预热时间 |
最多3小时可达到完全稳定 |
| 纹波和噪音 |
＜2.5ppm |
| 过流保护 | 额定电流的120%时提供过流保护 |
| 打弧保护 | 打弧条件下提供打弧保护。过流条件下停止运转。 |
| 输出功率 | 阻抗1～4Ω情况下，最大12.7W(0.1W增量可调） |
| 调节 | 所有模块均可持续功率调节（持续电流调节可供） |
| 线路变动率 | 线路扰动10%情况下，低于20ppm |
| 负载变动率 |
5～7W时,1～4Ω负载改变情况下，低于5% |
| 漂移 | ＜100ppm/小时 |
| 预热时间 |
最多3小时可达到完全稳定 |
| 纹波和噪音 |
＜1000ppm（激发频率）； ＜50ppm(10Hz～3kHz) |
| 监控输出 | 通过后面板BNC连接器实现，100mV监控输出对应1W输出功率 |
|
电压 |
灯丝电源参考电压100V-2kV |
发射电流稳定性：50μA 监控: 发射电流:100μA发射电流对应1V监控输出 |
EGM50 监控BNC连接器
| BNC | 信号 | BNC | 信号 | BNC | 信号 |
| 1 | 电子束能量监测输出 | 3 | 高压纹波监测输出 | 5 | 灯丝电源监测输出 |
| 2 | 发射电流监测输出 | 4 | Wehnelt纹波监测输出 |
EGM 50D 9针连接器
| 针号 | 信号 | 针号 | 信号 | 针号 | 信号 |
| 1 | 未用 | 4 | 测试模式（接OV) | 7 | RTS |
| 2 | RX数据（系统） | 5 | OV | 8 | CTS |
| 3 | TX数据（系统） | 6 | 安全互锁/高压启动（接OV) | 9 | 未用 |
